仪器介绍
1、仪器介绍
分辨率: 1.2nm(1 kV)(在GB 模式下),0.8nm(15 kV)
放大倍数: 25 到 1,000,000x
加速电压: 0.1 到 30 kV
束流: 1 pA 到 200 nA(15 kV时)
光阑角控制镜: 内置
探测器: 上方和下方探测器
能量过滤器: 新型过滤器
柔和光束: 内置
数字图像: 1,280 x 960,2,560 x 1,920, 5,120 x 3,840
样品交换室: 单步加载/卸载
样品台: 全对中,5轴马达驱动
X-Y: 70 mm x 50 mm(IA) 110 mm x 80 mm(II) 140 mm x 80 mm(III)
倾斜: -5 到 +70°
旋转: 360°
工作距离: 1.5 mm 到 25 mm
真空系统: 2 SIPs,磁悬浮轴承 TMP、RP
节能设计: 正常运行:1.2 kVA 休眠模式:1 kVA
操作系统关闭(OFF):0.76 kVA
2、应用范围
场发射扫描电子显微镜,广泛用于生物学、医学、金属材料、高分子材料、化工原料、地质矿物、商品检验、产品生产质量控制、宝石鉴定、考古和文物鉴定及公安刑侦物证分析。可以观察和检测非均相有机材料、无机材料及在上述微米、纳米级样品的表面特征。该仪器的最大特点是具备超高分辨扫描图像观察能力,尤其是采用最新数字化图像处理技术,提供高倍数、高分辨扫描图像,并能即时打印或存盘输出,是纳米材料粒径测试和形貌观察最有效仪器。也是研究材料结构与性能关系所不可缺少的重要工具。